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液晶屏制造中的激光退火
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     大显示屏的ITO导电薄膜图形采用激光生成技术,可达到无掩膜制作,省去图形掩膜的制作,激光刻线可达5m,故而能提高图形清晰度。

    国务院通过的“电子信息产业调整振兴规划”中,支持包括“新型显示和彩电工业转型”在内的六大工程,其中明确支持6代以上液晶屏项目。据报导,国内市场对大尺寸液晶显示板需求猛增,少数跨国企业技术垄断,使我们受制于人,只能高价进口,2007年1-7月进口11亿块,金额达281亿美元,国外已迈入7代、8代线生产,而我国仅徘徊于4代、5代线。
    目前制作液晶屏的工艺是要对石英玻璃基板上溅射非晶硅,然后把它加热到600℃以上,一直到非晶硅熔化,降温使其再结晶变为多晶硅,这样比非晶硅屏板象素单元密度高,孔径比较大,还可在屏周边集成驱动电路。但这样的工艺对于6代甚至7代、8代显示屏就要求很大尺寸的石英玻璃(或耐热玻璃)作基板,其价位高,大尺寸优质玻璃材料难以得到。还要求在生产线上安装比显示屏尺寸大2~3倍的退火炉,从而增加制造上的许多困难。若采用紫外波段的激光器对基板进行退火,其温度可大大降低,无需大尺寸退火炉,并且可用普通低价玻璃替代昂贵的大尺寸石英玻璃,显示屏尺寸或形状改变能迅速适应,从而降低制造成本,还可免去费时的加热冷却过程,提高成品率。 
  

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